通常将欲沉积的材料制成板材──靶,固定在阴极上。基片置于正对靶面的阳极上,距靶几厘米。系统抽至高真空后充入10~1帕的气体(通常为氩气),在阴极和阳极间加几千伏电压,两极间即产生辉光放电。放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极,与靶表面原子碰撞,受碰撞从靶面逸出的靶原子称为溅射原子,其能量在1至几十电子伏范围。溅射原子在基片表面沉积成膜。与蒸发镀膜不同,溅射镀膜不受膜材熔点的限制,可溅射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等难熔物质。溅射化合物膜可用反应溅射法,即将反应气体(O、N、HS、CH等)加入Ar气中,反应气体及其离子与靶原子或溅射原子发生反应生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉积在基片上。沉积绝缘膜可采用高频溅射法。基片装在接地的电极上,绝缘靶装在对面的电极上。高频电源一端接地,一端通过匹配网络和隔直流电容接到装有绝缘靶的电极上。接通高频电源后,高频电压不断改变极性。等离子体中的电子和正离子在电压的正半周和负半周分别打到绝缘靶上。由于电子迁移率高于正离子,绝缘靶表面带负电,在达到动态平衡时,靶处于负的偏置电位,从而使正离子对靶的溅射持续进行。采用磁控溅射可使沉积速率比非磁控溅射提高近一个数量级。江苏卷绕镀膜机厂商?销售卷绕镀膜机联系方式
是在真空蒸发和真空溅射基础上发展起来的一种新的镀膜技术。离子镀的英文全称IonPlating,简称IP。它是在真空条件下,应用气体放电实现镀膜的,即在真空室中使气体或蒸发物质电离,在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下,同时将蒸发物或其反应产物蒸镀在基片上。1972年,Banshah提出了在真空放电蒸镀时,导入反应气体生成化合物的方法,即(活性反应蒸镀法)(简称ARE法)。与此同时,在离子镀时代替氩气导入一部分反应气体生成化合物薄膜,形成了反应性离子镀法(简称RIP法)等等。根据不同膜材的气化方式和离化方式,可构成不同类型的离子镀膜方式。膜材的气化方式有:电阻加热,电子束加热,等离子电子束加热,高频感应加热,阴极弧光放电加热等。气体分子或原子的离化和***方式有:辉光放电型,电子束型,热电子型,等离子电子束型,多弧形及高真空电弧放电型,以及各种形式的离子源等。不同的蒸发源与不同的电离或激发方式可以有多种不同的组合。目前比较常用的组合方式有:1)直流二极型(DCIP)。利用电阻或电子束加热使膜材气化;被镀基体作为阴极,利用高电压直流辉光放电将冲入的气体Ar(也可充少量反应气体)离化。这种方法的特点是:基板温升大,绕射性好。河南正规卷绕镀膜机卷绕镀膜机哪家比较优惠?
2)由空气进入镀膜后再进入玻璃穿透率=[4××(1+)2]×[4××()2]=可见有镀膜的玻璃会增加透光度。此外由此公式,我们可以计算光线穿透镜片的两面,发现即使一片完美的透镜(折射率),其透光度约为85%左右。若加上一层镀膜(折射率),则透光度可达91%。可见光学镀膜的重要性。镀膜的厚度**后我们要探讨的是镀膜厚度的不同,会有什么影响?我们已经知道透光度与镀膜的折射率有关,但是却无关于它的厚度。可是我们若能在镀膜的厚度上下点功夫,会发现反射光A与反射光B相差nc×2D的光程差。如果nc×2D=(N+1/2)λ其中N=0,1,2,3,4,5.....λ为光在空气中的波长则会造成该特定波长的反射光有相消的效应,因此反射光的颜色会改变。光学镀膜由薄的分层介质构成的,通过界面传播光束的一类光学介质材料。光学薄膜的应用始于20世纪30年代。现代,光学薄膜已***用于光学和光电子技术领域,制造各种光学仪器。主要的光学薄膜器件包括反射膜、减反射膜、偏振膜、干涉滤光片和分光镜等等。它们在国民经济和国防建设中得到了***的应用,获得了科学技术工作者的日益重视。例如采用减反射膜后可使复杂的光学镜头的光通量损失成十倍地减小,采用高反射比的反射镜可使激光器的输出功率成倍提高。
以满足不同的需要.为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜.随着激光技术的发展,对膜层的反射率和透过率有不同的要求,促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展.为各种应用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等.光学零件表面镀膜后,光在膜层层上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜层的折射率和厚度,可以得到不同的强度分布,这是干涉镀膜的基本原理.三、方法和材料的区别1、真空镀膜的方法材料:(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约.(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体(如氩)通入已抽空的室内,保持压强约.(3)化学气相沉积:通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物,获得沉积薄膜的过程.(4)离子镀:实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合,兼有两者的工艺特点.表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点.2、常见的光学镀膜材料(1)氟化镁:无色四方晶系粉末,纯度高,用其制光学镀膜可提高透过率,不出崩点.(2)二氧化硅:无色透明晶体,熔点高,硬度大,化学稳定性好.纯度高,用其制备高质量Si02镀膜,蒸发状态好。江苏卷绕镀膜机哪家功能多?
产品放置24小时后拿出,在常温条件放置24小时后观察外观并做附着力测试.测试工具:高低温试验箱测试结果:涂层表面无异常,附着力OK测试项目九:高温保存测试程式;在温度66度,90%RH的条件下,放置88小时,在常温条件恢复24小时,观察外观并做附着力测试.测试结果:涂层外观无异常,附着力OK测试项目十:冷热冲击测试程式:将产品放在温度冲击箱中,先在-20度的低温环境下保存24小时,在1分钟内将温度切换到70度的高温环境并保存24小时,接着将温度下调到-20度低温,保存24小时.***在1分钟内将温度切换到70度的高温环境保存48小时,时间共120小时.将产品常温环境放置24小时观察涂层外观并做附着力测试测试工具:高低温试验箱测试结果:涂层外观无异常,附着力OK测试项目十一:耐盐雾测试测试程式:将产品放入盐雾试验机中,NaCl浓度为5%,测试时间168小时,将产品常温环境放置24小时,观察涂层外观并做附着力测试测试工具:盐雾机测试结果:涂层外观无异常,附着力OK。说明:1.涂层异常指:涂层发白起雾,受损,起皱等;2.附着力:重复测试一程式超级耐磨面漆:,耐磨耗350次(MIX)。山东卷绕镀膜机哪家比较划算?江西卷绕镀膜机作用
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附着性好,膜结构及形貌差,若用电子束加热必须用差压板;可用于镀耐腐蚀润滑机械制品。2)多阴极型。利用电阻或电子束加热使膜材气化;依靠热电子,阴极发射的电子及辉光放电使充入的真空惰性气体或反应气体离化。这种方法的特点是:基板温升小,有时需要对基板加热可用于镀精密机械制品,电子器件装饰品。3)活性反应蒸镀法(ARE)。利用电子束加热使膜材气化;依靠正偏置探极和电子束间的低压等离子体辉光放电或二次电子使充入的氧气,氮气等反应气体离化。这种方法的特点是:基板温升小,要对基板加热,蒸镀效率高,能获得氧化铝,氮化钛,碳化钛等薄膜;可用于镀机械制品,电子器件,装饰品。4)空心阴极离子镀(HCD)。利用等离子电子束加热使膜材气化;依靠低压大电流的电子束碰撞使充入的气体Ar或其它惰性气体,反应气体离化。这种方法的特点是:基板温升小,要对基板加热,离化率高,电子束斑较大,能镀金属膜,介质膜,化合物膜;可用于镀装饰镀层,耐磨镀层,机械制品。5)射频离子镀(RFIP)。利用电阻或电子束加热使膜材气化;依靠射频等离子体放电使充入的真空Ar及其它惰性气体,反应气体氧气,氮气等离化。这种方法的特点是:基板温升小,不纯气体少。销售卷绕镀膜机联系方式
无锡光润真空科技有限公司(简称“光润真空”)是从事真空镀膜设备研发、设计、销售、制造、服务于一体的综合性科技公司。
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